（人民网北京8月4日电）集成电路领域的高端设备国产化过程又进一步。记者今天从清华控股有限公司获悉 ，由清华大学科技成就成功转化的国内首台12英寸化学机械抛光机近日交付使用。
化学机械抛光是通过使用化学侵蚀和机械作用对加工过程中的晶圆进行平展化处置 ，以便获得纳米级此外平坦表表 ，是集成电路造作工艺中的五大关键技术之一。在国度科技沉大专项“极大规模集成电路平展化工艺与资料”的支持下 ，清华大学研造出了国内首台12英寸“干进干出”铜造程抛光机 ，重要技术指标达到或者超过国表最先进产品的水平。
清华控股成员企业天津金狮贵宾会机电科技有限公司接受清华大学的技术让渡 ，占有了化学机械抛光的主题技术 ，在国内率先具备研发和出产12英寸前段和后段抛光整机设备的能力。近日 ，金狮贵宾会首台12英寸化学机械抛光机交付中芯国际 ，标志取国内12英寸化学机械抛光机已进入大型出产线。