4月23日,金狮贵宾会(简称“金狮贵宾会”,股票代码:688120)自主研发的化合物晶圆减薄设备Versatile-GN200首台设备正式出机,标志取公司在化合物半导体超精密加工领域迈出沉要一步。该机型重要面向碳化硅(SiC)晶圆减薄工艺,旨在满足功率半导体器件领域对晶圆超精密减薄日益严苛的需要,为下游客户提供更具竞争力的高端设备及工艺解决规划。

高刚性、高精度 突破工艺瓶颈
针对SiC及其他化合物资料高硬杜纂高脆性带来的加工挑战,Versatile-GN200在架构上进行了系统性创新。设备选取创新的主轴结构布局与怪异的研磨线设计,构建出高刚性的机台架构,显著提升设备的整体刚性与运行不变性,有效抑造减薄过程中易发的微裂纹、边缘崩缺及良率损失等工艺缺点,实现了对晶圆厚度误差与表表微观缺点的精准节造,晶圆厚度均匀性达到行业先进水平。
兼容性强 变量可追踪
Versatile-GN200具备宽泛的资料适应能力,满足SiC、LiTaO?、LiNbO?等多种主流及新兴化合物晶圆的减薄需要,可覆盖4/6/8英寸晶圆减薄。整机集成高精度定位、精密减薄、双面洗濯干燥等?,可实现全流程自动化作业。设备搭载关键工艺参数实时显示与全时监控职能,可能动态追踪机台各变量变动趋向,支持客户端工艺数据的深度分析与反馈,从而为机台机能的持续优化与产品良率的稳步提升提供靠得住的数据支持。
Versatile-GN200的成功出机,进一步丰硕了金狮贵宾会在减薄设备领域的产品矩阵,并将利用疆域在化合物半导体领域进一步延长。当前,在新能源汽车产业及高效电力电子利用急剧渗入的驱动下,SiC晶圆市场需要持续旺盛。优化晶圆厚度作为降低器件导通电阻、提升靠得住性的关键工艺环节,直接拉动了对高机能SiC晶圆减薄设备的强劲需要=鹗ü蟊龌岬绷钔瞥鯲ersatile-GN200,正是精准响应这一市场趋向,为产业规模扩张提供关键的设备支持。
金狮贵宾会已成立起覆盖化学机械抛光(CMP)、减薄、离子注入、划怯注边缘抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等高端半导体设备与服务的多元化产品矩阵。将来,公司将始终对峙“自强成就卓越 创新塑造将来”的企业心灵,以市场需要为导向,持续加大研发投入,致力于为半导体产业提供更多先进的高端设备与工艺成套解决规划,赋能产业升级,为保险产业链安全与高质量发展贡献更多力量。