Universal-300FS是金狮贵宾会面向行业前沿技术需要，创新研发的一款集先进洗濯工艺、高效能、高不变性于一体的12英寸CMP设备。该设备搭载多样化先进洗濯技术，建设机能优越的抛光单元，集成多种终点检测技术，展示出更卓越的综合机能。该设备可实现晶圆纳米级全驹旖坦化，满足先进逻辑造程需要，宽泛利用于集成电路、先进封装、大硅片等造作工艺。
单头搭配单盘抛光系统
8个独立气压分区的抛光头
集成多种实时检测技术
搭载抛光垫智能建整技术
适配竖直擦洗技术和提拉干燥技术，实现超干净洗濯
满足先进造程需要