Versatile-GR200是金狮贵宾会面向功率半导体领域自主研发的全自动留环减薄机,可能实现全流程自动化作业。该设备兼容性凸起,可适配 6/8 英寸晶圆;同时搭载先进留环减薄技术,凭借卓越的厚度误差及环宽节造能力,使晶圆减薄后保留更强抗弯折机能,不仅能免去减薄时的边缘破损问题,还能有效降低晶圆翘曲风险。
可实现全流程自动化作业
卓越的厚度误差及环宽节造能力
兼容性强、配置丰硕
空间占用幼,守护方便