Master-BN300是一款基于行业前沿需要开发的12英寸晶圆边缘精密抛光设备。该设备集成高精度抛光、高效洗濯和精准量测职能，选取？榛杓，兼容多种工艺和利用领域的需要？上灾嵘г脖咴档墓饨喽，满足半导体造作领域对高精度边缘处置的技术要求，并已在存储芯片、先进封装等关键造程中得到利用。
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更高的抛光效能与表表光洁度
有效提升晶圆边缘清洁杜纂产品良率
高精怀抱测系统对抛光成效做在线检测和评价
