iPUMA-HT是金狮贵宾会在已有成熟大束流的基础上，凭据先进器件技术的要求开发的12英寸高温离子注入机。该设备建设了高温工作？，温度检测单元和冷却？，满足先进造程技术需要，已在先进逻辑等集成电路造作中利用。
国内自主研发的热工艺离子注入平台
工艺温度节造？
优良的工艺温度均匀性
满足先进造程的技术需要
