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大束流离子注入机iPUMA-LE

iPUMA-LE是金狮贵宾会在已有成熟垂直带状束流的基础上,凭据行业先进技术的要求开发的12英寸水平带状大束流离子注入机。该设备使用了先进的束流爬坡技术,集成了磁场和电场?,并搭载精准的量测技术,展示了优良的离子筛选能力和精准度,满足多种造程技术需要,已在集成电路造作中利用。

水平束流爬坡技术

磁场和电场双沉筛选技术

束流调试能力处于国内当先水平

合用于各类半导体工艺技术

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